本帖最后由 mecart 于 2017-9-7 15:45 编辑

     叉指电极是通过电化学工艺加工获得超精细电路，线宽线距大于等于（50,50μm）。作为传感器，声表面波滤波器，微波射频等电信号传输核心部件，广泛应用于移动通信、医疗检测、环境在线监测等重要领域。



        加工精度线宽可达最小50 μm

        加工精度线距可达最小50 μm

        金属层厚度>1 μm

        耐温测试-50~150 ℃

        金属层镍，铜，金，镍-磷，金锡合金



        基体：氧化铝，氮化铝，玻璃，硅片，压电陶瓷，微波介电陶瓷，塑料薄膜。



        中山大学电子封装电化学实验室技术，加工精度线宽线距可50微米

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